Trên cơ sở 02 loại khí chính là Ne và He với các tỷ lệ thành phần khí F, Ar, Ne, He khác nhau. Khí hỗn hợp Laser Excimer thường được sử dụng chủ yếu trong các thiết bị đo Laser Excimer.
+ Ứng dụng: Trong y tế ứng dụng quan trọng nhất của khí là dung để phẩu thuật cận thị.
+ Đặc tính kỷ thuật của một số khí Laser Excimer:
| Loại khí |
Khí cơ bản
|
Các loại khí thành phần
|
|
I
|
Ne
|
F2 0.1 ~ 0.25%, Ar 3 ~ 5%
|
|
II
|
He
|
F2 0.2 ~ 0.3%, Ar 9 ~ 11%, Ne 20 ~30%
|
|
III-1
|
Ne
|
F2 0.1 ~ 0.2%, Ar 1 ~ 3%, He 2 ~3%
|
|
III-2
|
Ne
|
Ar 5 ~ 8%, He 2 ~4%
|
|
IV-1
|
Ne
|
F2 0.1 ~ 0.3%, Ar 5 ~ 8%,
|
|
IV-2
|
Ne
|
F2 0.1 ~ 0.3%, Ar 5 ~ 8%, He 2 ~ 4%
|
|
V
|
Ne
|
F2 0.2 ~ 0.4%, Ar 6 ~ 10%, He 25 ~ 32%
|
|
VI
|
Ne
|
F2 0.1 ~ 0.4%, Ar 3 ~ 10%, He 3 ~ 25%
|
|
VII
|
Ne
|
F2 0.1 ~ 0.3%, Ar 2 ~ 8%, He 5 ~12%
|
|
VIII
|
Ne
|
F2 0.1 ~ 0.3%, Ar 2 ~ 10%, He 3 ~ 8%
|
Sản phẩm khác
|
|